<kbd id='ep3g05lw'></kbd><address id='ep3g05lw'><style id='ep3g05lw'></style></address><button id='ep3g05lw'></button>

              <kbd id='p7sjglb5'></kbd><address id='p7sjglb5'><style id='p7sjglb5'></style></address><button id='p7sjglb5'></button>

                      <kbd id='nl309dw2'></kbd><address id='nl309dw2'><style id='nl309dw2'></style></address><button id='nl309dw2'></button>

                              <kbd id='592qq5fh'></kbd><address id='592qq5fh'><style id='592qq5fh'></style></address><button id='592qq5fh'></button>

                                      <kbd id='eazcs9qc'></kbd><address id='eazcs9qc'><style id='eazcs9qc'></style></address><button id='eazcs9qc'></button>

                                              <kbd id='5ovueawc'></kbd><address id='5ovueawc'><style id='5ovueawc'></style></address><button id='5ovueawc'></button>

                                                      <kbd id='12dfr5cu'></kbd><address id='12dfr5cu'><style id='12dfr5cu'></style></address><button id='12dfr5cu'></button>

                                                              <kbd id='bqua6bi5'></kbd><address id='bqua6bi5'><style id='bqua6bi5'></style></address><button id='bqua6bi5'></button>

                                                                  ag平台> 产品中心 > 洁净机器人 > 大气机械手SRBJ1A-AD4401
                                                                  大气机械手SRBJ1A-AD4401

                                                                  ag娱乐平台: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT TRACK

                                                                  描述:高洁净等级aaa,高速传片aaa,碰撞保护aaaaa,Mappingaaaa,SEMI认证S2aaaaa,F47aaa,迎合个性化设计手指及接口用户可定制aaaaa。

                                                                  介绍

                                                                  引言

                                                                  联轴器驱动aaaa,伺服驱动aaa,清洁驱动和润滑aaaaa,SCARA臂结构aaaa,具有占地面积小aaaaa,膨胀率大aaa,精度高aaaaa,清洁度高等优点aaaaa。适应个性化设计aaaaa,手指和界面用户可定制aaa,联网控制系统aaa,高速薄膜传输效率和碰撞保护功能aaaa,SEMI认证S2aaaa,F47aaaaa,MCBF超过1000万次aaaaa。负责在FOUPaaaa,缓冲室aaaa,工艺位置等之间自动转移晶圆aaaa。这是半导体行业的最佳选择aaaaa。

                                                                  有关详细信息aaaaa,请单击新松清洁产品数据库

                                                                  参数

                                                                  Parameter


                                                                  结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                                                                  负载Payload名称name晶圆wafer
                                                                  直径diameterΦ200mm/Φ300mm
                                                                  重量weight≤0.5kg
                                                                  自由度数DOF4
                                                                  手数量Number of Arm2
                                                                  最大回转直径Maximum Swing diameter520mm

                                                                  运动范围

                                                                  Moving  Range
                                                                  升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis450mm
                                                                  回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis350°
                                                                  伸展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR760mm

                                                                  最大速度

                                                                  Maximum  Moving Speed
                                                                  升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis375mm/s
                                                                  回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
                                                                  伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis1100mm/s

                                                                  重复定位精度

                                                                  Repeatability
                                                                  升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
                                                                  回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
                                                                  伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
                                                                  洁净度Clean ClassCLASS 1
                                                                  主机重量Body Weight70 kg
                                                                  电源Power SupplyVAC 220V±10%