<kbd id='enja5toh'></kbd><address id='enja5toh'><style id='enja5toh'></style></address><button id='enja5toh'></button>

              <kbd id='3bkusgsl'></kbd><address id='3bkusgsl'><style id='3bkusgsl'></style></address><button id='3bkusgsl'></button>

                      <kbd id='ljpqmp5c'></kbd><address id='ljpqmp5c'><style id='ljpqmp5c'></style></address><button id='ljpqmp5c'></button>

                              <kbd id='q7kiouh8'></kbd><address id='q7kiouh8'><style id='q7kiouh8'></style></address><button id='q7kiouh8'></button>

                                      <kbd id='xmhats7f'></kbd><address id='xmhats7f'><style id='xmhats7f'></style></address><button id='xmhats7f'></button>

                                              <kbd id='wy63lmhd'></kbd><address id='wy63lmhd'><style id='wy63lmhd'></style></address><button id='wy63lmhd'></button>

                                                      <kbd id='1owhxogf'></kbd><address id='1owhxogf'><style id='1owhxogf'></style></address><button id='1owhxogf'></button>

                                                              <kbd id='k8d5ywml'></kbd><address id='k8d5ywml'><style id='k8d5ywml'></style></address><button id='k8d5ywml'></button>

                                                                  ag平台> 产品中心 > 洁净机器人 > 大气机械手SRBJ1A-AS3491
                                                                  大气机械手SRBJ1A-AS3491

                                                                  ag娱乐平台: TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT

                                                                  描述:高洁净等级aaaa,高精度aaaaa,高速传片aaaa,耐腐蚀aaaa,碰撞保护aaaaa,Mapping功能aaaa,SEMI认证aaa,提供接口及末端定制aaaaa。

                                                                  介绍

                                                                  引言

                                                                  大气机器人广泛用于硅晶片和LED蓝宝石衬底处理aaaa。手臂的先进结构增强了手臂的刚性aaa,有效抑制了振动aaaaa,轻巧的设计满足了高速要求aaaa。机体的制造工艺改进有效地降低了成本并提高了市场竞争力aaaa。材料aaa,加工和表面处理在许多方面是优选的aaa,以实现高清洁度aaaaa。具有多种安全功能aaaa。肘部和手腕的弹性控制允许机器人将晶体带到任何位置aaaa,允许更多的盒子以直线排列aaaaa,节省空间和适应性aaaaa。这是半导体工业的优势aaa。

                                                                  TR

                                                                  有关详细信息aaaaa,请单击新松清洁产品数据库

                                                                  参数

                                                                  Parameter


                                                                  结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                                                                  负载Payload名称name晶圆wafer
                                                                  直径diameterΦ200mm/Φ300mm
                                                                  重量weight≤0.5kg
                                                                  自由度数DOF3
                                                                  最大回转直径Maximum Swing diameter520mm

                                                                  运动范围

                                                                  Moving  Range
                                                                  升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm
                                                                  回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis330°
                                                                  伸展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR736mm

                                                                  最大速度

                                                                  Maximum  Moving Speed
                                                                  升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
                                                                  回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
                                                                  伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis900mm/s

                                                                  重复定位精度

                                                                  Repeatability
                                                                  升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
                                                                  回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
                                                                  伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)