<kbd id='sg3gs6i7'></kbd><address id='sg3gs6i7'><style id='sg3gs6i7'></style></address><button id='sg3gs6i7'></button>

              <kbd id='mng3wfkb'></kbd><address id='mng3wfkb'><style id='mng3wfkb'></style></address><button id='mng3wfkb'></button>

                      <kbd id='wk3hj3cd'></kbd><address id='wk3hj3cd'><style id='wk3hj3cd'></style></address><button id='wk3hj3cd'></button>

                              <kbd id='xyitp53u'></kbd><address id='xyitp53u'><style id='xyitp53u'></style></address><button id='xyitp53u'></button>

                                      <kbd id='v0jq5n3g'></kbd><address id='v0jq5n3g'><style id='v0jq5n3g'></style></address><button id='v0jq5n3g'></button>

                                              <kbd id='77gqnyq2'></kbd><address id='77gqnyq2'><style id='77gqnyq2'></style></address><button id='77gqnyq2'></button>

                                                      <kbd id='dg2d7wjp'></kbd><address id='dg2d7wjp'><style id='dg2d7wjp'></style></address><button id='dg2d7wjp'></button>

                                                          PINUS1-B

                                                          ag娱乐平台: PECVD PVD ETCH MEMS

                                                          描述:直驱电机结构aaaaa,全新的IO模块aaa,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能aaaaa,拥有SEMI认证aaa。满足个性化设计支持用户定制aaa,手臂长度可选aaaaa,可为客户提供接口及末端定制服务aaa。

                                                          介绍

                                                          引言

                                                          直驱电机结构具有较高的真空特性aaaa,内部结构无齿轮aaaaa,皮带等部件aaa,系统运行更好aaaa,可靠性更高aaaa。新的IO模块具有更多的输出引脚aaaaa,用户可以根据需要配置互锁aaa,传感器检测等功能aaaa。输入信号为硬件中断功能aaaaa,方便客户配置AWC等位置锁存功能aaa。具有安全区配置和敏感的碰撞保护aaaa,可减少用户误操作造成的损失aaaaa。配有大屏幕机器人示教器aaaa,便于调试和支持热插拔aaa。臂尺寸aaa,Z轴行程aaaa,耐高温和耐腐蚀性可根据客户应用的特殊要求定制aaa。

                                                          TR

                                                          有关详细信息aaaaa,请单击新松清洁产品数据库

                                                          参数

                                                          Parameter


                                                          本体重量Body Weight50KG
                                                          适用晶圆尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
                                                          负载Payload1KG
                                                          电源输入Power SupplyAC电压:100-240V    AC频率:50HZ/60HZ
                                                          节拍Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料aaaa,传输位置不同相关)
                                                          动态偏差纠正精度(AWC)±0.1mm
                                                          重复定位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm(3σ)
                                                          T: ±0.003°(3σ)
                                                          R: ±0.05mm(3σ)
                                                          漏率Leak rate<  1 x 10E-9 std. cc/sec He
                                                          真空度Base Pressure5X10-9Torr

                                                          适用温度 Applicable  temperature

                                                          法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

                                                          洁净度Clean Class

                                                          ISO  CLASS1

                                                          MCBF

                                                          >1100million cycles

                                                          复合运动 Compound  motion

                                                          支持Support
                                                          PC远程操作软件支持Support
                                                          通信接口Communications

                                                          Ethernet/串口serial interface

                                                          IO互锁IO interlock

                                                          支持Support

                                                          安全区Safe area

                                                          支持Support

                                                          碰撞保护Collision  protection

                                                          支持Support