<kbd id='1pz6dyuw'></kbd><address id='1pz6dyuw'><style id='1pz6dyuw'></style></address><button id='1pz6dyuw'></button>

              <kbd id='oqnyjneb'></kbd><address id='oqnyjneb'><style id='oqnyjneb'></style></address><button id='oqnyjneb'></button>

                      <kbd id='obgv93jo'></kbd><address id='obgv93jo'><style id='obgv93jo'></style></address><button id='obgv93jo'></button>

                              <kbd id='i4eny651'></kbd><address id='i4eny651'><style id='i4eny651'></style></address><button id='i4eny651'></button>

                                      <kbd id='pyjkloka'></kbd><address id='pyjkloka'><style id='pyjkloka'></style></address><button id='pyjkloka'></button>

                                              <kbd id='x7endvcb'></kbd><address id='x7endvcb'><style id='x7endvcb'></style></address><button id='x7endvcb'></button>

                                                      <kbd id='cnra07dv'></kbd><address id='cnra07dv'><style id='cnra07dv'></style></address><button id='cnra07dv'></button>

                                                          SRBZ820C-SMSX

                                                          ag娱乐平台: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

                                                          描述:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次aaaaa,SEMI认证S2aaaa,F47aaaa,迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选aaa,手指及接口用户可定制的特征aaaaa,耐高温、耐腐蚀aaaaa,动态纠偏和碰撞保护功能aaaaa。

                                                          介绍

                                                          引言

                                                          采用先进的直驱电机驱动技术aaa,噪音低aaaaa,振动小aaa,运行稳定aaaa,精度高aaaa。更灵敏的碰撞保护aaa,有效保护机器人和客户晶圆aaaa。新的轨迹规划aaaa,改进的体育节拍和提高的用户生产力aaaa。安全区域保护等功能有效提高了产品的安全等级aaaaa。它广泛应用于半导体前端设备的高端设备aaaa,对设备可靠性要求很高aaaaa。灵活的本地化aaa,可定制的服务aaaa,快速响应的售后服务和雄厚的技术实力是我们的主要竞争力aaaaa。它推动了国内半导体产业链的进步aaa,有力地支撑了国内设备制造商的发展aaaaa。

                                                          TR

                                                          有关详细信息aaa,请单击新松清洁产品数据库

                                                          参数

                                                          Parameter


                                                          结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                                                          密封方式Seal way磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing
                                                          自由度数DOF2
                                                          负载Payload名称name托盘Tray
                                                          直径diameterΦ370mm
                                                          重量weight2.5kg

                                                          最大运动范围

                                                          Moving  Range
                                                          R轴(mm)R-Axis

                                                          立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

                                                          Distance  from pillar center to  the moving objects  center of the biggest R-axis stretching is R820mm
                                                          θ轴(°)θ-Axis

                                                          全行程最小时间

                                                          Minimum running time
                                                          R轴(s)R-Axis2.5
                                                          θ轴(s)θ-Axis3.5

                                                          重复定位精度

                                                          Repeatability
                                                          θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
                                                          R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)
                                                          重量Weight机械手本体Main-body41kg
                                                          控制器Controller15kg
                                                          耐真空度Base Pressure (Pa)10­-5Pa
                                                          漏率leak rate<1*10E-8Mbar*L/s
                                                          碰撞保护Collision Protect Function盘片和机械手无损伤Disc and robot without damage