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                              <kbd id='gd4vvo0n'></kbd><address id='gd4vvo0n'><style id='gd4vvo0n'></style></address><button id='gd4vvo0n'></button>

                                  SRBZ1440A

                                  ag娱乐平台: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

                                  描述:采用磁流体密封技术aaa,网络化控制系统aaaaa,具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能aaaaa,拥有SEMI认证aaaaa,MCBF大于1000万次aaaa,同时具备超高洁净度aaa,耐高温、耐腐蚀aaaaa,负载能力强等特点aaa。满足个性化设计支持用户定制aaa,负载、手臂长度可选aaaa,可为客户提供接口及末端定制服务aaa。是大负载真空机械手的优越之选aaa。

                                  介绍

                                  引言

                                  大负荷真空机械手aaa,真空机械手产品在LED芯片制造领域aaa,主要用于LED芯片制造工艺aaaa,实现了每个工艺室内大量LED晶圆的托盘转移aaaaa,具有高真空aaa,大负荷aaa,和传输aaa。高效率aaaaa,耐高温等aaaaa,大大提高了LED芯片制造的产量和效率aaaa,是LED芯片制造设备的关键产品aaaa。传统的LED芯片制造使用真空操纵器用于集成电路制造工艺应用aaaa,其负载容量仅为1kgaaaaa。该产品以集成电路制造用真空机械手为基础aaa,针对大负荷要求aaaa,创新了传动结构和控制规律aaaa,使其承载能力达到20.5kgaaa,同时保持小占地面积aaa,保持高真空阻力aaaa。学位和清洁度aaaa。

                                  TR

                                  有关详细信息aaa,请单击新松清洁产品数据库

                                  参数

                                  Parameter


                                  结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
                                  驱动方式Driving method伺服电机Servo Motor
                                  手数量Number of Arm单臂Single Arm
                                  负载Payload名称name托盘Tray
                                  直径diameterΦ710mm
                                  重量weight≤10.5kg
                                  自由度数DOF3
                                  手臂长度Arm Length355mm

                                  手指长度(安装中心至硅片中心)

                                  Finger  length(distance from install center to wafer center)
                                  765mm

                                  运动范围

                                  Moving  Range
                                  Z轴Z-axis

                                  150mm

                                  R轴aaaaa,机械手旋转中心至工艺腔中心 R-axis, robot center to process chamber center极限(Ultimate)1440mm
                                  θ轴θ-axis无限回转Infinite Rotation

                                  全行程最小时间

                                  Minimum running time
                                  Z轴Z-axis1s/35mm
                                  R轴R-axis5s/伸出或缩回Extend or Retraction
                                  θ轴θ-axis5s/180°

                                  重复定位精度

                                  Repeatability
                                  θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
                                  R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

                                  机械手带φ710mm负载后最小回转直径

                                  Robot  minimum turning diameter with Φ 710 mm load
                                  1530mm

                                  伸出1440mm负载直径710mm最前端下垂量

                                  The  front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load
                                  5.5mm
                                  重复定位精度Repeatability±0.2mm
                                  耐真空度Base Pressure (Pa)10­-6Pa
                                  重量Weight机械手本体Main-body100kg
                                  控制器Controller15kg
                                  碰撞保护Collision Protect Function

                                  盘片和机械手无损伤/工位需重新校准
                                               Disc  and robot without damage/need  to recalibrate position